Likusių Dujų Analizatoriai (RGA) ir Masės Spektrometrai - 100 AMU CPM
Likusių Dujų Analizatoriai (RGA) ir Masės Spektrometrai - 100 AMU CPM

Likusių Dujų Analizatoriai (RGA) ir Masės Spektrometrai - 100 AMU CPM

GREITAS, LAUKO PARUOŠTAS PROCESŲ STEBĖJIMO SISTEMA Veikimas, Patikimumas ir Universalumas INFICON Transpector CPM daugiau nei dešimtmetį buvo rinkos lyderis likutinio dujų analizatoriaus (RGA) procesų stebėjimo sistemoje puslaidininkių pramonėje. Dabar Transpector CPM 3 siūlo pramonėje pirmaujančią matavimo greitį ir jautrumą, integruodamas patikrintą siurbimo ir įleidimo sistemą su nauju jutikliu ir elektronika. Transpector CPM 3 yra ideali RGA procesų stebėjimo sistema naujoms ir jau įsitvirtinusioms puslaidininkių procesams, tokiems kaip ALD, CVD, PVD ir Etch. Transpector CPM 3 suteikia įrodytą investicijų grąžą mūsų partneriams per: 1. Jonų šaltinio slėgio matavimas esant žemam emisijos lygiui naudojant bendro slėgio objektyvą 2. Bendro slėgio tikslumas esant žemam emisijos lygiui 3. Maksimalus jonų šaltinio veikimo slėgis esant žemam emisijos lygiui 4. 2x10 -4 Torr jonų šaltinyje sukurs apie 1x10 -5 Torr kvadrupolo regione 5. MDPP jonų šaltinyje su EM įjungtu ir 1s buvimo laiku 6. Masė 40 indėlis į 41 AMU 7. Nulinis sprogimas... Rezoliucija: 1 amu pločio @ 10% pikų aukščio Bendro slėgio diapazonas¹: 5E-7 - 1E-3 Torr Bendro slėgio tikslumas²: +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr Maksimalus jonų šaltinio veikimo slėgis³: 1E-3 Torr Nominalus veikimo slėgis⁴: 2E-4 Torr Sistemos veikimo slėgis: 1E-8 Torr - 1.2 atm Jautrumas (žema emisija): > 4E-6 Amps/Torr Jautrumas (aukšta emisija): > 2E-5 Amps/Torr Mažiausias nustatomas dalinis slėgis⁵: 1E-13 Torr Maksimalus duomenų perdavimo greitis: 1.8 ms/taškas (555 taškai/sec) Gaunamumo jautrumas⁶: < 5 ppm Nulinis sprogimas⁷: < 2 ppm Aptikimo riba⁸: < 1 ppm Linijiškumas⁹: +/- 20% Mažiausias fono slėgis: 1E-8 Torr Maksimali jutiklio ir įleidimo temperatūra: 150
Panašūs produktai
1/15
Cheminis Aptikimas ir Stebėjimas (GCMS/GC/IR) - CMS5000
Cheminis Aptikimas ir Stebėjimas (GCMS/GC/IR) - CMS5000
Švarus vanduo yra būtinas gyvybei. Augant cheminių medžiagų kiekiui aplinkoje, vandens kokybės pablogėjimo ir atitinkamų sveikatos problemų pasekmės t...
DE-50968 Köln
Aukštos tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 ... 500 Torr / mbar
Aukštos tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 ... 500 Torr / mbar
INFICON SKY CDG100D manometrai yra geriausias pasirinkimas tiksliam bendro slėgio matavimui ir kontrolei. CDG100D manometrai yra temperatūros kontroli...
DE-50968 Köln
Didelio tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 Torr / 1100 mbar
Didelio tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 Torr / 1100 mbar
INFICON SKY CDG025D talpos diafragmos matuoklių linija, kuri yra itin tiksli ir temperatūrai kompensuojanti, sukurta stabiliai veikti sudėtingose gamy...
DE-50968 Köln
Vakuuminiai pralaidumai - DN 40 CF-F - 1 pralaida
Vakuuminiai pralaidumai - DN 40 CF-F - 1 pralaida
INFICON siūlo ekonomiškai prieinamus ISO-KF flanšų pralaidumus, kurie jau daugelį metų naudojami visose standartinėse vakuuminėse taikymuose visame pa...
DE-50968 Köln
Cheminis Aptikimas ir Stebėjimas (GCMS/GC/IR) - HAPSITE ER
Cheminis Aptikimas ir Stebėjimas (GCMS/GC/IR) - HAPSITE ER
Vienintelis nešiojamas GC/MS, kuris identifikuoja VOC ir SVOC Greitas, lengvas, tikslus vietinis veikimas HAPSITE ER yra vienintelis nešiojamas dujų ...
DE-50968 Köln
Suderinami vakuuminiai manometrai ir valdikliai - PCG550 Volframas
Suderinami vakuuminiai manometrai ir valdikliai - PCG550 Volframas
INFICON Pirani kapacitinio diafragmos manometras (PCG55x) sujungia INFICON Pirani technologiją su keraminio kapacitinio diafragmos jutiklio privalumai...
DE-50968 Köln
Suderinami vakuuminiai manometrai ir valdikliai - PSG550 Volframas
Suderinami vakuuminiai manometrai ir valdikliai - PSG550 Volframas
INFICON Pirani standartinis manometras (PSG55x) naudoja, kaip ir jo broliai PCG55x ir PSG50x, pažangiausią skaitmeninę Pirani technologiją. Patvari ju...
DE-50968 Köln
RF Jutiklių Technologija
RF Jutiklių Technologija
ADC100 sistema jungiasi prie nuolatinės srovės generatoriaus, kad realiu laiku aptiktų plazmos iškrovą. Tai suteikia galimybę nutraukti wafer procesą ...
DE-50968 Köln
Vakuuminiai pralaidai - DN 16 CF-F
Vakuuminiai pralaidai - DN 16 CF-F
INFICON siūlo ekonomiškai prieinamus ISO-KF flanšų pralaidumus, kurie jau daugelį metų naudojami visose standartinėse vakuuminėse taikymuose visame pa...
DE-50968 Köln
Didelio tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 Torr / 1100 mbar
Didelio tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 Torr / 1100 mbar
INFICON SKY CDG025D talpos diafragmos matuoklių linija, kuri pasižymi itin tiksliais temperatūros kompensuotais manometrais, yra sukurta stabiliai vei...
DE-50968 Köln
Platus vakuuminių matuoklių asortimentas - PGE500
Platus vakuuminių matuoklių asortimentas - PGE500
INFICON Pirani matuoklis Enhanced 500 (PGE500) yra aprūpintas naujausia skaitmenine konvekcijos technologija, kuri yra prieinama rinkoje. Dėl konvekci...
DE-50968 Köln
Likusių Dujų Analizatoriai (RGA) ir Masės Spektrometrai - FabGuard Explorer
Likusių Dujų Analizatoriai (RGA) ir Masės Spektrometrai - FabGuard Explorer
Procesų charakterizavimo programinė įranga Transpector dujų analizės sistemai Vieno paspaudimo prieiga prie dviejų populiariausių RGA funkcijų: stebė...
DE-50968 Köln
Plonojo Filmo Depozicija - SQM-160 Standartinė Rezoliucija
Plonojo Filmo Depozicija - SQM-160 Standartinė Rezoliucija
SQM-160 naudoja patikrintą INFICON kvarco kristalo jutiklių technologiją, kad matuotų greitį ir storį plonųjų filmų nusodinimo procesuose. Du jutiklių...
DE-50968 Köln
Aukštos tikslumo vakuuminiai manometrai - 10 ... 1000 Torr / mbar
Aukštos tikslumo vakuuminiai manometrai - 10 ... 1000 Torr / mbar
INFICON Porter™ CDG020D kapacitinė diafragma matuoklis yra aukštos kokybės, ekonomiškas, dujų tipo nepriklausomas absoliutaus slėgio jutiklis. Porter ...
DE-50968 Köln
Vakuumo Matuoklių Valdikliai ir Priedai - VGC501
Vakuumo Matuoklių Valdikliai ir Priedai - VGC501
Tvarus sprendimas procesų matavimui, valdymui ir duomenų registravimui Suderinamas su plačiu INFICON aktyvių matuoklių asortimentu, naujoji VGC50x ak...
DE-50968 Köln

europages programėlė yra čia!

Naudokite mūsų patobulintą tiekėjų paiešką arba kurdami užklausas naudokite naują „europages“ programėlę pirkėjams.

Atsisiųsti iš „App Store“

App StoreGoogle Play