Aukštos tikslumo vakuuminiai manometrai - 1000 ... 500 Torr / mbar

INFICON SKY CDG100D manometrai yra geriausias pasirinkimas tiksliam bendro slėgio matavimui ir kontrolei. CDG100D manometrai yra temperatūros kontroliuojami 100 °C, kad užtikrintų aukščiausią našumą reikalaujančiuose puslaidininkių ir plazmos procesuose. Jie yra prieinami su pilno masto diapazonais nuo 100 mTorr iki 1000 Torr, su visomis įprastomis flanšų rūšimis ir lauko autobusų sąsajomis, ir teikia linijinį 0 iki 10 V, nepriklausomą nuo dujų tipo, slėgio signalą. INFICON talpiniai manometrai naudoja ultrapuikų aliuminio oksido keramikos diafragmą, kuri yra atspari korozijai. Keraminio jutiklio privalumai yra geresnis signalo stabilumas, greitesnis atsigavimas iš atmosferos, trumpas įšilimo laikas ir nepaprastas tarnavimo laikas. INFICON CDG yra aukštos kokybės, ekonomiški slėgio jutikliai reikalaujantiems puslaidininkių, plazmos ir vakuumo taikymams. su EtherCAT skaitmenine sąsaja dabar! (1) Nelineariškumas, histerezė, pakartojamumas 25 °C aplinkos temperatūroje be temperatūros poveikio po 2 valandų veikimo. (2)... Tikslumas (1):0.2 prie nulio:0.0025 prie diapazono:0.02 Slėgis, max.:400 Rezoliucija:0.003 Mažiausias rodmuo:0.01 Mažiausias rekomenduojamas rodmuo:0.05 Mažiausias rekomenduojamas kontrolinis slėgis:0.5 Veikimas (aplinkos) (5):+10 … +50 Išdžiovinimas flanše:≤110 Saugojimas:–20 … +65 Maitinimo įtampa:+14 … +30 VDC arba ±15 V (±5%) Įšilimo metu:≤15 Veikimo temperatūroje:≤10 Išėjimo signalas (analoginis):0 … +10 Atsako laikas (2):30 Apsaugos laipsnis:IP 40 CE atitiktis:EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS ETL sertifikavimas:UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 SEMI atitiktis (5):SEMI S2 Elektrinis sujungimas:D-sub, 15 polių, vyriškas Nustatytų taškų skaičius:2 (SP1, SP2) Relės kontaktas:≤30 Protokolas:RS232-C Skaityti:slėgis, būsena, ID Nustatyti:nustatymo taškai, filtras, nulio reguliavimas, gamyklinis atstatymas, DC nuokrypis Medžiagos, kontaktuojančios su vakuumu:Aliuminio oksido keramika (AI 2O 3), nerūdijantis plienas (AISI 316L (4)) I. tūris 1/2'' vamzdis:4.2 (0.26) I. tūris DN 16 ISO KF:4.2 (0.26) I. tūris DN 16 CF-R:4.2 (0.26) I. tūris 8 VCR®:4.2 (0.26) Svoris 1/2'' vamzdis:837 Svoris DN 16 ISO KF:852 Svoris DN 16 CF-R:875 Svoris 8 VCR®:897 Protokolas EtherCAT:protokolas, specialiai sukurtas EtherCAT Komunikacijos standartai:Vakuumo slėgio manometras