Plazminio Paviršiaus Apdorojimo Sistema | Tetra 100
Niederdruck-Plasmaanlage, Plasma-Oberflächen-Behandlungsanlage, Plasma Cleaner - Plasmaanlagen von Diener electronic haben sich längst in den verschiedensten Industriebereichen durchgesetzt. Mit der Niederdruck Plasmaanlage Tetra 100 setzten Sie auf die moderne und zukunftssichere kalte Plasmatechnologie im Vakuum. Das Kammervolumen von ca. 100 Liter dieses Plasmasystems bietet genügend Raum um Serienfertigungen / Automation zu bedienen.
Die Plasmabehandlung im Niederdruck-Plasma ist eine bewährte Technik zur kontrollierten Feinstreinigung, Verbesserung der Adhäsion (Aktivierung und Ätzung) und Beschichtung dünner Schichten auf Substratoberflächen. Plasma wird durch den Einsatz hochfrequenter Spannung in der Vakuumkammer erzeugt. Dabei wird das dort eingeleitete Prozessgas ionisiert.
Anwendungsgebiete:
VOC-freie Reinigung von organischen Rückständen
Aktivierung vor dem Lackieren, Kleben, Vergießen, …
Ätzen von PTFE, Fotolack, Oxidschichten, …
Super-hydrophobe und -hydrophile Beschichtungen
Abmessungen (Standgerät - 19" Rack):600 mm x 1700 - 2100 mm x 800 mm (BxHxT)
Vakuumkammer Material:Edelstahl, Aluminium
Vakuumkammer Abmessungen:ca. 400 mm x 400 mm x 625 mm (BxHxT) - Tmax 3 m
Vakuumkammer Volumen:Ca. 100 Liter
Vakuumkammer Verschluss:Tür mit Scharnier, automatische Türe
Gaszufuhr:Mass Flow Controller (MFCs)
Generator:80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Druckmessung:Pirani, Kapazitätsmanometer
Elektroden:nach Kundenwunsch
Steuerung:Basic PC (Win. CE), Full PC (Win. 10 IoT)
Spannungsversorgung:400 V / 50 - 60 Hz
Vakuumpumpe:nach Kundenwunsch