LeviWafer Griebtuvas

Su LeviWafer griebtuvo transportavimo sistema galima be kontakto pakelti ir transportuoti jautrius wafer'us. Kartu su transportavimu taip pat galima krauti ir iškrauti kasetes ar stelažus. Griebtuvas, naudodamas ultragarsinių guolių technologiją, laiko wafer'ą atstumu, taip leisdamas kontaktinį transportavimą. Be mikro įbrėžimų ir mikro įtrūkimų, taip pat išvengiama teršalų, nes be suspausto oro nesusidaro oro sūkuriai. Todėl griebtuvas taip pat labai tinkamas švarioms patalpoms. LeviWafer griebtuvas gali būti konstruojamas su vienu arba dviem mentėmis. LeviWafer griebtuvo savybės: - Be kontakto paėmimas - Nėra mikro įbrėžimų, mikro įtrūkimų ar dalelių - Tinkamas standartinėms kasetėms - Mažas energijos suvartojimas - Galima pritaikyti pagal kliento reikalavimus