Ims5420-th Wafers storio matavimo sistema - Interferometrai (balta šviesa)

IMS5420 yra aukštos kokybės baltos šviesos interferometras, skirtas be kontakto storio matavimui monokristalinių silicio plokštelių. Valdiklis turi plačiajuostį superluminescencinį diodą (SLED) su bangos ilgio diapazonu nuo 1,100 nm. Tai leidžia matuoti nedopuotų, dopuotų ir labai dopuotų SI plokštelių storį naudojant tik vieną matavimo sistemą. IMS5420 pasiekia signalo stabilumą, mažesnį nei 1 nm. Storis gali būti matuojamas iš 24 mm atstumo.