Kompaktiškas mikropozicionierius atviram ir uždarom ciklui su 8, 18 arba 30 mm reguliavimo diapazonu
Mikropozicionierius MS30 su 8, 18 arba 30 mm reguliavimo diapazonu atviram arba uždarom ciklui.
Prieinamas šiose versijose: standartinė, aukštas vakuumas iki 10^-6 arba ultrahigh vakuumas iki 10^-9 mbar.
Svoris (atviram ciklui): 32 g, 38 g arba 54 g
Žingsnio dydis atviram ciklui (su CF30 valdikliu): apie 10 nm
Pakartojamumo tikslumas uždarom ciklui: iki 50 nm