SemiCon/Medical Keitimo Sistema

Nors smulkus valymas vis labiau apima į-/daugiakamerinę sistemą PowerJet, serijinė panardinimo įranga tam tikrose taikymo srityse gali pasigirti dideliu partijų perdirbimu. Šie įrenginiai dažnai yra aprūpinti ultragarso arba megagarso sistemomis (galbūt taip pat daugiafrekvencinėmis ultragarso sistemomis). Kiekviena vonia turi cirkuliacinę filtraciją ir paviršiaus nuskaitymą. Prekių judėjimas voniose vyksta kaip oscilacija/aukščio judėjimas arba naudojant atitinkamas mechanines priemones kaip sukimąsi/apsisukimą. Pasirinktinė linijinė transportavimo sistema užtikrina prekių laikiklių perkelimą tarp apdorojimo stočių. Hermetiškai uždarytose kamerose taip pat galima atlikti tuos procesus, kurie dėl medijos ar proceso reikalavimų turi vykti vakuume.