Likusių Dujų Analizatoriai (RGA) ir Masės Spektrometrai - MPH100F

ATLOCKUOKITE SAVO PROCESĄ Nepakartojamas našumas, didinantis derlių ir maksimalų veikimo laiką Nuolat didėjanti silicio plokštelių kaina ir baigtų produktų paklausa reiškia, kad išmetamos plokštelės kainuoja daugiau nei bet kada anksčiau. Taigi, suprasti savo procesą ir stebėti defektus tapo daug didesniu prioritetu puslaidininkių gamybos centruose. Transpector MPH dujų analizės sistema sukurta tam, kad atblokuotų jūsų procesą, užtikrinant pramonėje pirmaujančią našumą visoms jūsų dujų analizės programoms, kad padėtų maksimaliai padidinti lustų derlių ir sumažinti įrankių neveikimą. Sujungus mažas bendras nuosavybės išlaidas ir didelį vidutinį laiką tarp gedimų, Transpector MPH padeda jūsų pelnui labiau nei bet kuris kitas likusių dujų analizatorius (RGA) rinkoje. INFICON pasinaudojo savo patirtimi dujų analizės proceso valdymo įrenginiuose, kad sukurtų RGA su pramonėje pirmaujančia duomenų rinkimo greičiu, minimaliu aptinkamu daliniu slėgiu ir signalo-šumo santykiu. Viskas tai, nesumažinant jokios... Jutiklio ilgis: 14.3 cm Masės diapazonas: 100 amu Detektoriaus tipas: FC Jautrumas (FC): 6E-4 A/Torr Jautrumas (EM): NA Min. aptinkamas dalinis slėgis (4): 3E-13 Torr Maks. jutiklio veikimo temperatūra (FC): 200°C Maks. jutiklio veikimo temperatūra (EM): NA Filamento tipo parinktis (1): Y2O3/Ir Filamento tipo parinktis (2): Volframas Maks. duomenų perdavimo greitis taškui: 1.8 ms Maks. veikimo slėgis: 5E-4 Torr Maks. iškaitinimo temperatūra: 300 Galia: 20-30 VDC