AURION siūlo daugiakamerinius sistemas, pritaikytas jūsų poreikiams, su substrato apdorojimu vakuume.
Galimos konfigūracijos apima įkrovimo kameras, perdavimo kameras ir procesų modulius sputter ir RIE procesams.
Kompaktiški sistemos, minimalus pėdsakas - Aukštos plazmos tankio vertės trumpiems procesų laikams - Optimizuota homogeniškumas per plazmos tinklą su ...
Visiškai sistemos paviršių apdorojimui ir padengimui naudojant plazmos procesus
Aktyvacija, valymas ir graviravimas atmosferos slėgio plazma, reaktyv...
Max. 4 dujų srauto valdikliai su srautu iki 500 sccm kiekvienam valdikliui, maitinimo šaltinis: 3/N/PE AC 400/230V, kameros tūris: 30 l, matmenys (PxA...
Spindulių manipuliavimas dalelių pagreitintuvuose (pvz., grupių suspaudimas), visiškai integruoti sistemos iš ertmės su spindulių vamzdžiu ir HF stipr...
KIVOS yra labai lankstus, modulinis plazmos sistemų konceptas.
Šios sistemos gali būti naudojamos įvairiose taikymo srityse, tokiose kaip paviršių va...
Vakuuminiai indai, pagaminti iš aliuminio arba nerūdijančio plieno, vakuuminiai siurbliai, atsparūs koroziniams dujoms, įskaitant alyvos rūko atskyrim...
Kompaktiški sistemos, minimalus pėdsakas - Aukštos plazmos tankio vertės trumpiems procesų laikams - Optimizuota homogeniškumas per plazmos tinklą su ...
Visiškai sistemos paviršių apdorojimui ir padengimui naudojant plazmos procesus
Aktyvacija, valymas ir graviravimas atmosferos slėgio plazma, reaktyv...
Max. 4 dujų srauto valdikliai su srautu iki 500 sccm kiekvienam valdikliui, maitinimo šaltinis: 3/N/PE AC 400/230V, kameros tūris: 30 l, matmenys (PxA...
Spindulių manipuliavimas dalelių pagreitintuvuose (pvz., grupių suspaudimas), visiškai integruoti sistemos iš ertmės su spindulių vamzdžiu ir HF stipr...
KIVOS yra labai lankstus, modulinis plazmos sistemų konceptas.
Šios sistemos gali būti naudojamos įvairiose taikymo srityse, tokiose kaip paviršių va...
Vakuuminiai indai, pagaminti iš aliuminio arba nerūdijančio plieno, vakuuminiai siurbliai, atsparūs koroziniams dujoms, įskaitant alyvos rūko atskyrim...