... metu paprastai naudojami rentgeno matuokliai, kurie veikia nepriklausomai nuo lydinio ir kurių tikslumas yra ribotas dėl aukštų temperatūrų matavimo taške ir kitų aplinkos sąlygų. Aukštos tikslumo skersinio profilio matavimas tada atliekamas neaktyviai naudojant VBP sistemas, kurių matavimo tikslumas siekia iki ± 1 µm. Tokiu būdu malūno operatoriai gali pasiekti didelį procesų patikimumą.