Vakuumo technologija nanotechnologijai

Šiems komponentams skiriamas didelis dėmesys tikslumui, paviršiaus kokybei ir valymui. Nanotechnologijų srityje gaminame ultra aukšto vakuumo kameras dalelių analizei slėgio diapazone < 1 x 10-11 mbar molekulinės srauto epitaksijos (MBE) ir SPM (skanuojančios zondo mikroskopijos) taikymams. Šios vakuumo kameros gaminamos su dideliu kruopštumu, kad atitiktų aukštus pramonės reikalavimus. Naudodami modernias mašinas ir novatoriškas technologijas, atitinkame aukštus nanotechnologijų reikalavimus.