Elektropoliravimas aukšto ir ultrahigh vakuumo technologijai

Higienos arba ultrahigienos vakuumui veikiamos paviršiai (kameros vidinės sienos, apdailos, įrengimai) išleidžia vakuumui adsorbuotas dujas ir vandenį, kai juos išpumpuojama, kas gali sukelti reikšmingus siurbimo laikus. Siurbimo laikams sutrumpinti (be iškaitinimo) ypač tinka elektropoliravimas atitinkamų paviršių. Dėl esamos problemos poliravimo procesas parenkamas taip, kad medžiagoje ir paviršiuje esantys ertmės ir įspaudos būtų atidarytos ir atskleistos. Taip išmetimo laikai drastiškai sumažinami. Taip pat pagerinama paviršių valymo geba. Visos kameros su jų suvirintais flanšais, pvz., paviršiaus analizės įrenginiai, yra aprūpinamos pritaikytomis elektrodais ir elektropoliruojamos.