Prior XY stalo pozicionavimo sistema su 300 x 300 mm judesiu

H112 be vargo gali priimti 12 colių (300 mm) wafer'us ir dirba su daugeliu robotinių rankų wafer'ų pakrovėjų. H112 stalas yra idealus įvairių puslaidininkių wafer'ų, fotomaskių, plokščių ekranų ir spausdintinių plokščių skenavimui. H112 be vargo gali priimti 12 colių (300 mm) wafer'us ir dirba su daugeliu robotinių rankų wafer'ų pakrovėjų. Be to, H112 gali būti naudojamas pralaidumo taikymams su pralaidumo zona 250 mm x 250 mm. Ypatingos savybės: - Tinka daugumai populiarių prekinių ženklų mikroskopų - 1µm arba geresnis pakartojamumas - Pasirinktiniai 100nm linijiniai skalės suteikia aukščiausią galimą raišką - Platus wafer'ų laikiklių pasirinkimas - 302 mm x 302 mm (12″x12″) eiga