Plazminis paviršiaus apdorojimas | Tetra 2800

Plazminio paviršiaus apdorojimo sistema, žemo slėgio, plazminis valymas - Diener electronic plazminės įrangos sprendimai jau seniai įsitvirtino įvairiose pramonės šakose. Pasirinkdami žemo slėgio plazminę įrangą Tetra 2800, investuojate į modernią ir ilgalaikę šalto vakuumo plazmos technologiją. Apie 2800 litrų talpos šios plazminės sistemos kamera suteikia pakankamai vietos serijinei gamybai. Žemo slėgio plazmos apdorojimas yra patikrinta technika, skirta kontroliuojamam smulkiam valymui, sukibimo gerinimui (aktyvavimui ir graviravimui) bei plonų sluoksnių dengimui ant substrato paviršių. Plazma generuojama naudojant aukštos dažnio įtampą vakuuminėje kameroje. Į ją įvedamas apdorojimo dujos yra jonizuojamos. Taikymo sritys: - Valymas be lakiųjų organinių junginių (LOJ) iš organinių likučių - Aktyvavimas prieš dažymą, klijavimą, uždengimą - PTFE, fotorezistinių dangų, oksidų sluoksnių graviravimas - Superhidrofobinių ir superhidrofilinių dangų dengimas Išmatavimai (stovintis prietaisas - 19"): 600 mm x 1700 mm x 800 mm (PxAxG) Vakuuminė kamera (medžiaga): Nerūdijantis plienas Vakuuminė kamera (išmatavimai): Ø 1200 mm, P 2500 mm Vakuuminė kamera (talpa): apie 2800 litrų Vakuuminė kamera (uždarymas): Durys su vyriukais Dujų tiekimas: 3 dujų kanalai per MFC, Masės srauto kontroleris (MFC) Slėgio matavimas: Pirani, Talpinis manometras (koroziniam dujoms) Generatoriai: 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Elektrodai: Šoniniai elektrodai su vienu ar keliais lygiais Valdymo sistemos: Pilnas PC (Win.10 IoT) Įtampų tiekimas: 400 V / 50 - 60 Hz Vakuuminės siurbliai: Vienas ar keli lygiai